新規ラインナップが追加されました!

RSP-150手動オープナー

【設備概要】

RSP-150 (Reticle SMIF Pod)の開閉を手動で行う治具です。

RSP-150手動オープナー

【特長】

RSP150をオープナー(本製品)に載せ、ハンドルレバーを左右に動作させることでRSPの開閉が可能です。

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RSP-150手動オープナー
矢印

OPEN

RSP-150手動オープナー
矢印

【仕様】

主材質 アルミ合金 / SUS
外形寸法 355(W) × 421(D) × 171(H)mm
※421mmはハンドルレバーの回転領域を含む。
重量 約6kg

RSP-200手動オープナー

【設備概要】

RSP-200(Reticle SMIF Pod)の開閉を手動で行う治具です。

RSP-200手動オープナー

【特長】

RSP200をオープナー(本製品)に載せ、ハンドルレバーを左右に動作させることでRSPの開閉が可能です。

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RSP-200手動オープナー
矢印

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RSP-200手動オープナー
矢印

【仕様】

主材質 アルミ合金 / SUS
外形寸法 369(W) × 427(D) × 127(H)mm
※427mmはハンドルレバーの回転領域を含む。
重量 約4.5kg

FOUP手動オープナー

【設備概要】

300mm用FOUP (Front Opening Unified Pod)の開閉を手動で行う治具です。

FOUP手動オープナー

【特長】

  • ・オープナー(本製品)をFOUP DOORにセッティングし、ハンドル(右)を回転させることにより、開閉が可能です。
  • ・外したDOORは、清浄度維持の為、立てた状態にて仮置きが可能です。

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FOUP手動オープナー

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FOUP手動オープナー

【仕様】

主材質 樹脂(エンジニアリングプラスチック)
外形寸法 453(W) × 83(D) × 173(H)mm
※173mmはハンドルを含む。
重量 約850g